Описание промышленного дифрактометра D8 FABLINE
Дифрактометр для контроля качества в полупроводниковой промышленности
Дифрактометр D8 FABLINE специально разработан для контроля качества полупроводниковых пластин в полупроводниковой промышленности. Оснащенный сенсорным экраном вместе с удобным и гибким программным обеспечением, D8 FABLINE позволяет быстро и качественно решать задачи контроля качества в полупроводниковой промышленности.
- • Исследование пластин размером от 6“ до 300 мм
 - • Горизонтальный прободержатель обеспечивает высокое быстродействие системы и исключает повреждение образца
 - • Интерфейс SECS/GEM позволяет интегрировать D8 FABLINE в систему управления технологическим процессом
 - • Автоматическое распознавание образов дает возможность проведения точных микроанализов
 - • D8 FABLINE может быть оснащен одиночным или сдвоенным встроенным FOUP-интерфейсом для загрузки пластин
 - • Сенсорный экран делает работу с системой более удобной
 
Технические характеристики
|   Тип   |    промышленный   |  
|   Исполнение   |    напольный   |  
|   Детектор   |    линейный   |  
|   Мощность генератора   |    3 кВт   |  
|   Применение   |    структурный и фазовый анализ материалов электронной техники   |